单柱液压机液压缸内泄漏是液压缸不保压诸因素中影响最大的一种，且故障分析不像其他因素那样直观，因为阀件，液压泵的泄漏或系统溢流阀、分流阀调节不当都可能产生类似液压缸内泄漏的故障征兆，故在修理液压缸之前，应查询液压缸工作压力、活塞全行程时间等治疗，了解液压缸不保压现象属偶发型还是渐变型等，并与历史记录或标准值作一比较。
 
当单柱液压机液控单向阀存在法相泄漏时，应检查阀芯有否偏磨或划痕，若损坏程度较轻。可用0.001mm的氧化铝颗粒加入机油调配成研磨修复后用煤油渗透法检验，如果是因控制油压无法释放造成单向阀关闭不严，则应检查液压回油路的背压是否过高，回油过滤器是否阻塞或检查所更换的换向阀中位机能与原配相符否。